РОССИЙСКИЕ УЧЕНЫЕ СОЗДАЛИ ЭТАЛОН ДЛЯ НАНОМИРА

Российские ученые сделали самый точный в мире эталон, по которому можно проверять, насколько правильно работают приборы для измерения линейных размеров в микро- и нанодиапазонах. Это кремниевая пластина, в которой с атомарной точностью вытравлен рельеф - трехмерный рисунок, состоящий из линий с точно известной шириной и глубиной, – эталонная мера ширины и периода для электронной и атомно-силовой микроскопии.

Ученые из Научно-исследовательского центра по изучению свойств поверхности и вакуума (НИЦПВ, Москва) разработали новое поколение мер малой длины для калибровки средств измерений в диапазоне от одного нанометра до одного микрона. Это эталонные меры ширины и периода для электронной и атомно-силовой микроскопии. По сути, авторы научились создавать на гладкой поверхности кристалла кремния рельефные рисунки, характерные элементы (линии) которых имеют точно известную ширину и глубину и нанесены на точно известном расстоянии друг от друга. Уникальность подхода в том, что он позволяет создать линии шириной всего пять миллиардных частей метра. А у лучших зарубежных аналогов – в двадцать раз больше.

В том, что такие эталоны необходимы, сомнений нет. Современная микро- и наноэлектроника уже сейчас использует элементы микросхем с минимальными размерами 45 нм и в ближайшие 10 лет собирается создавать элементы с размерами 10 нм. На таком расстоянии укладывается всего 20 атомов кремния. Разумеется, простой "линейкой" измерить такие величины невозможно. Поэтому нужны не только соответствующие приборы (обычно это электронные и атомно-силовые микроскопы), но и возможность обеспечить единство измерений. То есть, измеряя один и тот же объект, они должны показывать один и тот же результат – такой же, как у реального объекта. Для этого нужен соответствующий эталон – как контрольная гирька для весов. Вот такой эталон и научились делать ученые из НИЦПВ. С беспрецедентной точностью, вызывающей чувство законной гордости у его создателей и у нас – за российскую науку.